一种三维成像及三维扫描显微镜

摘要

本实用新型公开了一种三维成像及三维扫描显微镜，包括成像显微镜和投影显微镜，成像显微镜主要由第一成像单元和第二成像单元构成，第一成像单元包括第一成像元件和第一成像臂，第二成像单元包括第二成像元件和第二成像臂；投影显微镜包括投影元件和投影臂。第一成像臂包括第一成像目镜、第一变倍体和第一辅助物镜，第二成像臂包括第二成像目镜、第二变倍体和第二辅助物镜；投影元件包括光源和条纹图像发生器，光源发出的光经过条纹图像发生器、投影臂投影条纹图像至被测物表面，再经第一成像臂和/或第二成像臂对应由第一成像元件和/或第二成像元件成像。本实用新型既能三维成像又能实现三维扫描，具有应用广泛、使用方便、测量精度高的特点。

主权项

一种三维成像及三维扫描显微镜，其特征在于：包括成像显微镜和投影显微镜，成像显微镜主要由第一成像单元和第二成像单元构成，第一成像单元包括第一成像元件和第一成像臂，第二成像单元包括第二成像元件和第二成像臂；投影显微镜包括投影元件和投影臂。