发明名称 太阳电池吸收层的制备方法及其热处理设备
摘要 本发明提供了一种太阳电池吸收层的制备方法及其热处理设备,该制备方法及其热处理设备适用于在一基板上形成一吸收层。首先,使位于一腔体内的一固体蒸气源与基材上的一吸收层前驱物保持一预定距离。固体蒸气源包含锡。吸收层前驱物包含铜、锌、锡及硫。将腔体内的温度升温至一第二温度,使吸收层前驱物在基材上形成一吸收层。
申请公布号 CN103887364A 申请公布日期 2014.06.25
申请号 CN201310706762.9 申请日期 2013.12.20
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 吴宗鑫;吴世雄;张佳文;许弘儒
分类号 H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 曹玲柱
主权项 一种太阳电池吸收层的制备方法,其特征在于,包含:使位于一腔体内的一固体蒸气源与位于该腔体内的一基材上的一吸收层前驱物保持一预定距离,该固体蒸气源包含锡,该吸收层前驱物包含铜、锌、锡及硫;以及将该腔体内的温度升温至一第二温度,使该吸收层前驱物在该基材上形成一吸收层。
地址 中国台湾新竹县