图形化蓝宝石衬底及其制作方法、外延片的制作方法

摘要

本发明公开了一种图形化蓝宝石衬底及其制作方法、外延片的制作方法，属于半导体光技术领域。所述蓝宝石衬底的图形化表面上有多个凸起，所述多个凸起为周期性图形阵列，所述凸起为台体结构，每个所述凸起的顶部均有凹槽。本发明通过在蓝宝石衬底表面的形成台体结构的凸起，并在每个凸起的顶部设置凹槽，由于凸起顶部非常小，采用侧向外延生长法的外延片在凸起的顶部可以直接闭合生长，从而使氮化镓层与蓝宝石衬底之间形成空气的界面间隙，空气作为最低折射率的材料，使光在氮化镓、空气、蓝宝石衬底界面处不易被透射更易被反射，可产生更高的反射率，从而提高了发光二极管的光提取效率。

主权项

一种图形化的蓝宝石衬底，所述蓝宝石衬底的图形化表面上有多个凸起，所述多个凸起为周期性图形阵列，其特征在于，所述凸起为台体结构，每个所述凸起的顶部均有凹槽。