一种带有抛光功能的研磨盘

摘要

本发明涉及一种带有抛光功能的研磨盘，适用于光学元件、非晶薄膜衬底等工件表面的研磨与抛光加工。它包括包括底座砂轮和螺旋形挡板，所述螺旋形挡板固定安装在底座砂轮上，所述底座砂轮的表面粒度随着螺旋形挡板梯度式变化，越靠近螺旋形中心，底座砂轮的表面粒度越高；所述底座砂轮上沿着螺旋形挡板的内外侧均设有废液流道。本发明结构简单紧凑，成本较低，自动化程度高，通过螺旋形研磨盘的磨料粒度梯度化设计，可以对工件分别进行从粗磨到精抛的不同程度的加工。

主权项

一种带有抛光功能的研磨盘，其特征在于：包括底座砂轮和螺旋形挡板，所述螺旋形挡板固定安装在底座砂轮上，所述底座砂轮的表面粒度随着螺旋形挡板梯度式变化，越靠近螺旋形中心，底座砂轮的表面粒度越高；所述底座砂轮上沿着螺旋形挡板的内外侧均设有废液流道。