用于软X射线波段透射式Fibonacci薄膜透镜及其设计、制备方法

摘要

用于软X射线波段的透射式Fibonacci薄膜透镜，包括有Fibonacci薄膜系，Fibonacci薄膜系的一侧表面为平面，另一侧表面刻蚀成凹状或凸状对称面结构；其设计方法为：1）选用两种厚度均为d的材料A和B，材料A和B在原子量小于36的单元素材料或其化合物材料中选择，由这两种材料构成n级Fibonacci序列薄膜；2）将步骤1）的n级Fibonacci序列薄膜构成一维光子晶体，利用数值方法计算该一维光子晶体薄膜的能带和等频率圆，根据带隙的位置绘制光子晶体的等频率圆图；3）根据步骤2）的计算结果，利用材料A和B制备厚度为d，周期为m的n级Fibonacci序列薄膜，在薄膜的一个表面制备凹或凸状对称面；具有结构简单、成像精度高、设计制备方法简单的特点。

主权项

用于软X射线波段的透射式Fibonacci薄膜透镜，其特征在于，包括有Fibonacci薄膜系，Fibonacci薄膜系的一侧表面为平面，另一侧表面刻蚀成凹状或凸状对称面结构。