一种SiC研磨液中铁屑的分离装置

摘要

本实用新型涉及一种SiC研磨液中铁屑的分离装置。其结构包括第一空腔（1）、弧形凹槽（2）、磁辊（3）和第二空腔（4），所述第一空腔（1）一侧开有进料口（11），另一侧与弧形凹槽（2）一侧连通，磁辊（3）在弧形凹槽（2）上方配合设置，弧形凹槽（2）的另一侧与第二空腔（4）直接连通，第二空腔（4）底部设有出料口（41），所述磁辊（3）远离弧形凹槽（2）的一侧沿转动方向依次设置有胶辊（8）和刮刀（5），胶辊（8）与磁辊（3）挤压接触，刮刀（5）抵触在磁辊（3）上。本实用新型有效地解决了研磨料液因为含有铁屑而影响其重复利用的问题，避免了加工过程中铁屑对加工晶片的损害，同时回收的铁屑可以重新利用，保护了环境。

主权项

一种SiC研磨液中铁屑的分离装置，其特征在于：包括第一空腔（1）、弧形凹槽（2）、磁辊（3）和第二空腔（4），所述第一空腔（1）一侧开有进料口（11），其内部设置有导流板（12），第一空腔（1）通过导流板（12）与弧形凹槽（2）一侧连通，磁辊（3）在弧形凹槽（2）上方配合设置，且两者之间留有弧形通道，弧形凹槽（2）的另一侧与第二空腔（4）直接连通，第二空腔（4）底部设有出料口（41），所述磁辊（3）远离弧形凹槽（2）的一侧沿转动方向依次设置有胶辊（8）和刮刀（5），胶辊（8）与磁辊（3）挤压接触，刮刀（5）抵触在磁辊（3）上。