一种等离子气相反应合成氮化硅粉体及其复合粉体材料的制备方法

摘要

一种等离子气相反应合成氮化硅粉体及其复合粉体材料的方法，解决了现有的氮化硅粉体制备中固相反应所合成的粉体粒径大、颗粒大小不匀、纯度低，分散性不好等问题，同时也解决一般气相合成中所存在的能量利用率及产率过低，工艺过程不易控制以及生成的超细粉易团聚等问题。本发明采用一定化学计量比的SiCl₄或SiH₄和N₂或NH₃和乙烯气体为反应气体，Ar气作为载气，将几种气体按照一定比例通过等离子炬，在2-50kW的功率下，制备氮化硅粉体材料及其复合材料。本发明可以在等离子条件下、短时间内合成高纯度的氮化硅粉体及其复合粉体材料。采用本发明获得的粉体材料具有超细、高纯及分散性好等特点。

主权项

一种等离子气相反应合成氮化硅粉体的制备方法，该方法是通过下述步骤实现的：1）原料组成及成分范围：SiCl₄或SiH₄和N₂或NH₃，Ar气作为载气，合成氮化硅粉体，按化学计量比，SiCl₄（SiH₄）：N₂（NH₃）=(0.8‑1.5):(2.0‑4.0)；2）具体实现步骤：将含有硅源和氮源的气体混合经气路进入等离子炬反应腔，在2‑50kW的功率下使气体发生反应，在反应过程中以惰性气体作为载气制备氮化硅粉体材料。