无耦合运动的二维微位移工作台

摘要

无耦合运动的二维微位移工作台，包括：基板、外层柔性铰链杆、驱动支座、电致伸缩器件、内层柔性铰链杆、工作台，四组沿X、Y方向对称分布的内层柔性铰链杆一端连接工作台，另一端连接驱动支座，驱动支座通过外层柔性铰链杆连接到基板上，驱动支座中间设有电致伸缩器件，电致伸缩器件一端顶紧工作台的凸缘，另一端顶在驱动支座上。本发明采用双层柔性铰链杆对称结构一体化设计，整体采用线切割加工方法一次切割完成，无装配元件，可实现输出位移与输入位移成正比的独立、无耦合一维或者二维运动，具有无耦合、分辨率高、结构紧凑的特点，可应用于微机电系统、扫描探测显微镜、超精密加工、光学元件制造以及生物医学工程等领域。

主权项

无耦合运动的二维微位移工作台，包括：基板(1)、外层柔性铰链杆(2)、驱动支座(3)、电致伸缩器件(4)、内层柔性铰链杆(5)、工作台(6)，所述工作台(6)沿X、Y方向对称分布有四个工作台凸缘（7）；所述驱动支座（3）用于连接基板（1）与工作台（6），包括一个驱动支座跨梁(9)和位于支座跨梁两侧的驱动支座侧板(8)，驱动支座（3）通过外层柔性铰链杆(2)与基板(1)连接，通过内层柔性铰链杆（5）与工作台连接，所述内层柔性铰链杆（5）一端连接驱动支座侧板(8)，另一端连接工作台凸缘；所述内层柔性铰链杆(5)有四组，分别沿X、Y方向平行对称分布，每一组由四根相互平行的柔性铰链杆构成，分别连接在驱动支座侧板(8)与工作台凸缘(7)上；所述电致伸缩器件(4)有两个，其中X、Y方向各一个，所述电致伸缩器件(4)一端顶紧工作台的凸缘(7)，另一端顶在驱动支座跨梁(9)上。