发明名称 铜微蚀刻剂及其补充液、以及电路板的制造方法
摘要 本发明公开了一种铜微蚀刻剂、及用来添加到此铜微蚀刻剂的补给液、以及使用所述铜微蚀刻剂的电路板的制造方法。铜微蚀刻剂由含有铜离子、有机酸、卤化物离子、聚合物及非离子性表面活性剂的水溶液构成。所述聚合物为具有多胺链及/或阳离子性基,且重量平均分子量为1000以上的水溶性聚合物。本发明的铜微蚀刻剂,当以所述卤化物离子的浓度作为A重量%,以所述聚合物的浓度作为B重量%,以所述非离子性表面活性剂的浓度作为D重量%时,优选为A/B的值为2000~9000,且A/D的值为500~9000。通过使用所述蚀刻剂,即使是低蚀刻量也可均匀维持与树脂等的粘着性。
申请公布号 CN103890233A 申请公布日期 2014.06.25
申请号 CN201380003526.9 申请日期 2013.06.25
申请人 MEC股份有限公司 发明人 栗井雅代;田井清登;中村真美;荻野悠贵
分类号 C23F1/18(2006.01)I;H01L21/308(2006.01)I;H05K3/38(2006.01)I 主分类号 C23F1/18(2006.01)I
代理机构 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人 周善来;李雪春
主权项 一种铜微蚀刻剂,由含有铜离子、有机酸、卤化物离子、聚合物及非离子性表面活性剂的水溶液构成,所述聚合物为具有多胺链及/或阳离子性基,且重量平均分子量为1000以上的水溶性聚合物,以所述卤化物离子的浓度作为A重量%、以所述聚合物的浓度作为B重量%、以所述非离子性表面活性剂的浓度作为D重量%时,A/B的值为2000~9000,且A/D的值为500~9000。
地址 日本兵库县