发明名称 半导体结构及其制造方法
摘要 本发明公开了一种半导体结构及其制造方法。该半导体结构包括一第一掺杂区、一第二掺杂区以及一栅极结构;第一掺杂区具有一第一导电型,第二掺杂区形成于第一掺杂区中,并具有相对于第一导电型的一第二导电型;栅极结构形成第一掺杂区和第二掺杂区上;栅极结构包括一第一栅极部分和一第二栅极部分,彼此是以一间隙(gap)分隔开。
申请公布号 CN103887336A 申请公布日期 2014.06.25
申请号 CN201210553159.7 申请日期 2012.12.19
申请人 旺宏电子股份有限公司 发明人 詹景琳;林镇元;林正基;连士进
分类号 H01L29/78(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I 主分类号 H01L29/78(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 任岩
主权项 一种半导体结构,包括:一第一掺杂区,具有一第一导电型;一第二掺杂区,形成于该第一掺杂区中,并具有相对于该第一导电型的一第二导电型;以及一栅极结构,位于该第一掺杂区和该第二掺杂区上,该栅极结构包括一第一栅极部分和一第二栅极部分,彼此是以一间隙(gap)分隔开。
地址 中国台湾新竹科学工业园区力行路16号