发明名称 |
半导体结构及其制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种半导体结构及其制造方法。该半导体结构包括一第一掺杂区、一第二掺杂区以及一栅极结构;第一掺杂区具有一第一导电型,第二掺杂区形成于第一掺杂区中,并具有相对于第一导电型的一第二导电型;栅极结构形成第一掺杂区和第二掺杂区上;栅极结构包括一第一栅极部分和一第二栅极部分,彼此是以一间隙(gap)分隔开。 |
申请公布号 |
CN103887336A |
申请公布日期 |
2014.06.25 |
申请号 |
CN201210553159.7 |
申请日期 |
2012.12.19 |
申请人 |
旺宏电子股份有限公司 |
发明人 |
詹景琳;林镇元;林正基;连士进 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
任岩 |
主权项 |
一种半导体结构,包括:一第一掺杂区,具有一第一导电型;一第二掺杂区,形成于该第一掺杂区中,并具有相对于该第一导电型的一第二导电型;以及一栅极结构,位于该第一掺杂区和该第二掺杂区上,该栅极结构包括一第一栅极部分和一第二栅极部分,彼此是以一间隙(gap)分隔开。 |
地址 |
中国台湾新竹科学工业园区力行路16号 |