| 发明名称 | OSP膜厚的测量方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种OSP膜厚的测量方法，包括如下步骤：（1）取样，在样品的OSP膜表面喷镀一层金属镀层；（2）在金属镀层表面涂覆环氧树脂胶，烘烤使环氧树脂胶固化；（3）制作切片，用扫描电镜测量OSP膜的厚度。本发明的测量方法通过直接在OSP膜表面进行喷镀和涂覆环氧胶、将待测OSP膜保护起来后再进行切片制作，利用扫描电镜可直观地观察OSP镀膜均匀性，从而对OSP膜覆盖程度进行评估，且可以直接对膜厚进行测量。其测试结果重现性和精确度高，所得数据便于工程参考和对比。 | ||
| 申请公布号 | CN103884726A | 申请公布日期 | 2014.06.25 |
| 申请号 | CN201410077105.7 | 申请日期 | 2014.03.04 |
| 申请人 | 工业和信息化部电子第五研究所 | 发明人 | 梁朝辉;杨颖 |
| 分类号 | G01N23/22(2006.01)I;G01N1/28(2006.01)I | 主分类号 | G01N23/22(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 郑彤;万志香 |
| 主权项 | 一种OSP膜厚的测量方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）取样，在样品的OSP膜表面喷镀一层金属镀层；（2）在金属镀层表面涂覆环氧树脂胶，烘烤使环氧树脂胶固化；（3）制作切片，用扫描电镜测量OSP膜的厚度。 | ||
| 地址 | 510610 广东省广州市天河区东莞庄路110号 | ||