位移装置及其制造、使用和控制方法

摘要

位移装置包括定子及可移动台。该定子包括多个线圈，该多个线圈被定形成在一个或多个层中提供多个大致线性伸长的线圈迹线。线圈层可在Z方向上重叠。该可移动台包括多个磁体阵列。各磁体阵列可包括在对应方向上大致线性伸长的多个磁化区段。各磁化区段具有与磁化区段在其中伸长的方向大致正交的磁化方向，且其磁化方向的至少两个彼此不同。可连接一个或多个放大器以选择性驱动线圈迹线中的电流且从而实现该定子与该可移动台之间的相对移动。

主权项

一种位移装置，其包括：定子，其包括定形成提供工作区域的多个伸长的线圈，该线圈的迹线大致被线性地定位在该工作区域内，所述多个伸长的线圈包括：第一多个线圈迹线，其分布在对应的第一定子Z位置处的第一层上，所述第一多个线圈迹线在所述第一层中在第一定子方向大致线性地伸长；和第二多个线圈迹线，其分布在对应的第二定子Z位置处的第二层上，所述第二多个线圈迹线在所述第二层中在第二定子方向大致线性地伸长，所述第二定子方向不平行于所述第一定子方向；所述第一层和所述第二层在所述工作区域中在定子Z方向彼此重叠，所述定子Z方向大致正交于所述第一定子方向和所述第二定子方向两者；和可移动台，其包括多个磁体阵列，所述多个磁体阵列包括：第一磁体阵列，其包括在第一台方向大致线性地伸长的多个第一磁化区段，每个第一磁化区段的磁化方向大致正交于所述第一台方向，并且所述第一磁化区段中的至少两个的磁化方向彼此不同；和第二磁体阵列，其包括在不平行于所述第一台方向的第二台方向大致线性地伸长的多个第二磁化区段，每个第二磁化区段的磁化方向大致正交于所述第二台方向，并且所述第二磁化区段中的至少两个的磁化方向彼此不同；和一个或多个放大器，其经连接以驱动所述第一多个线圈迹线和所述第二多个线圈迹线中的电流，从而实现所述定子和所述可移动台之间的相对移动。