用于振荡扰动时域测量的设备及方法

摘要

一种振荡设备及使用该设备的方法。在一个实施例中，设备包括具有保证质量的力传感器，该力传感器具有配置于其上的一个或多个感测电子隧穿电极，以及包括一个或多个参考电子隧穿电极的框架。配置于传感器基部及封盖晶圆上的导电板引起保证质量的振荡。感测及参考电极对以面对面的方式配置，因而形成以一个或多个闭合状态为特征的数字开关。在闭合状态中，开关产生触发事件，因而使得感测设备能够产生指示质量位置的数字输出。连续的触发事件之间的时间周期用于获取因外力导致的质量偏移。在触发事件之间的时间间隔基于制造期间建立的物理尺寸，因而不需要进行传感器校正。

主权项

一种振荡感测设备，包括：振荡设备；驱动电路，配置为驱动振荡设备；至少一个开关设备，包含第一元件和第二元件，且以至少一个闭合状态为特征；以及感测电路，耦合至该至少一个开关。