基于柔性基底具有相变特性纳米氧化钒功能薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种基于柔性基底具有相变特性纳米氧化钒功能薄膜的制备方法，首先清洗柔性基底PI，即聚酰亚胺，再采用金属钒作为靶材，以氩气作为工作气体，通过超高真空对靶磁控溅射设备在PI表面沉积金属钒纳米薄膜，再将该金属钒纳米薄膜于300～400℃进行快速热处理，制得纳米氧化钒功能薄膜。本发明通过改变材料本身的性质来实现其高低阻值的变化，达到了相变的目的，为柔性基底集成电路新型器件提供了应用基础。

主权项

一种基于柔性基底具有相变特性纳米氧化钒功能薄膜的制备方法，具有以下步骤：(1)清洗柔性基底PI将基底PI，即聚酰亚胺，依次放入去离子水、丙酮溶剂及无水乙醇中分别超声清洗20～40分钟，随后放入质量分数为5～10%的醋酸溶液中浸泡15～30分钟，除去表面有机物杂质；再用去离子水洗净，最后将PI烘干备用。(2)制备金属钒纳米薄膜将清洗好的PI置于超高真空对靶磁控溅射设备的真空室，采用金属钒作为靶材，以氩气作为工作气体，本底真空度为(4～6)×10^‑4Pa，基片温度为室温，氩气气体流量为45～48mL/min，溅射工作气压为2Pa，溅射功率100～150W，溅射时间10～50min，在PI表面沉积金属钒纳米薄膜；(3)基于柔性基底金属钒纳米薄膜的热处理将步骤(2)制得的金属钒纳米薄膜置于快速热处理设备中，采用氧气作为工作气体，氧气气体流量为3～5slpm，热处理温度为300～400℃，热处理时间为120～180s。