样品块支座

摘要

一种样品支座总成包括样品托盘、基板、样品台底座、以及安装到样品台底座上的校准用基准。基板的底部上的三个配合结构与附接到SEM的样品台上的样品台底座上的相应结构紧密配合。任选的接触导体在样品台底座与基板之间提供电接触从而使得电子束在样品上生成的电荷可以离开样品通过样品导电层到达样品托盘、基板、样品台底座、以及通过接地样品台。

主权项

一种用于具有带有样品台的样品室的带电粒子束系统的样品支座系统，包括：   用于附装到带电粒子束系统的样品台上的样品台底座，该样品台底座包括三个对准结构；   基板，包括三个对准结构，该基板上的每个对准结构被构造成用于与该样品台底座上的相应对准结构配合，该基板上的或样品台底座上的每一个配合对准结构包括半球形部分；   样品托盘，被配置成可移除地可附接到该基板上，该样品托盘具有用于对多个样品块进行定位的多个孔；   夹子，将该样品托盘夹持到该基板上；以及   校准用基准支座，被固定到该样品台底座上并且当在该带电粒子束系统内变换样品时其继续保持在该样品台底座上。