支撑脚装置

摘要

本发明公开了一种支撑脚装置，包括：支撑脚本体、支撑脚螺母和支撑环，所述支撑脚本体位于支撑环上表面，所述支撑脚螺母穿过支撑环下表面与所述支撑脚本体通过紧固件紧固，所述支撑脚本体和支撑脚螺母夹紧所述支撑环。本发明的支撑脚装置结构简单、易实现、可以不受设备结构限制，节省设备空间、可根据需要沿圆环调节位置，以克服现有技术中支撑脚单一性安装方式的缺陷。

主权项

一种支撑脚装置，其特征在于，包括：支撑脚本体、支撑脚螺母和支撑环，所述支撑脚本体位于支撑环上表面，所述支撑脚螺母穿过支撑环下表面与所述支撑脚本体通过紧固件紧固，所述支撑脚本体和支撑脚螺母夹紧所述支撑环；其中，所述支撑脚本体包括：在所述支撑脚本体上表面开设的调节所述支撑脚本体到所述支撑环圆心的距离的长形圆孔，在所述支撑脚本体下表面开设的使支撑脚本体滑行的滑行槽，所述滑行槽与所述长形圆孔连通；所述支撑脚本体还包括支撑晶片的斜行面和防止机械手碰撞的槽孔；其中，支撑脚螺母包括：在所述支撑脚螺母上表面开设的紧固所述支撑脚本体的螺纹孔，所述螺纹孔上下贯通所述支撑脚螺母，所述支撑脚螺母还包括：卡入所述滑行槽的滑行块、固定所述支撑环的突出块和挡板，所述滑行块的宽度与滑行槽内壁之间的宽度相同，所述挡板的上表面与所述支撑环的下表面紧密贴合；其中，所述卡入滑行槽的滑行块的上表面与滑行槽留有间隙。