光纤放大器动态增益斜率均衡器及其制备工艺

摘要

本发明揭示了一种光纤放大器动态增益斜率均衡器及其制备工艺，所述均衡器包括通过光学封装的MEMS光学微镜驱动器芯片和双光纤准直器；MEMS光学微镜驱动器芯片包括第一光学微反射镜、第二光学微反射镜、微位移调节单元；微位移调节单元用以控制第一光学微反射镜或/和第二光学微反射镜的水平方向或/和垂直方向的微位移运动，实现MZI分束比和干涉臂相位调谐，动态控制输入WDM光信号的光谱斜率。本发明提出的动态增益斜率均衡器采用MEMS工艺制作，具有插入损耗低、均衡范围宽、体积小、调谐速度快、驱动功率微小等优点，可直接集成到EDFA中实现动态增益斜率均衡，还能应用于解决传输光纤、光纤色散补偿模块、光纤SRS效应等造成的DWDM通道间信号功率不均衡问题。

主权项

一种光纤放大器动态增益斜率均衡器，其特征在于，所述均衡器包括MEMS光学微镜驱动器芯片和双光纤准直器；所述MEMS光学微镜驱动器芯片和双光纤准直器通过光学封装，构成微型Mach‑Zehnder干涉仪MZI；所述MEMS光学微镜驱动器芯片包括第一光学微反射镜、第二光学微反射镜、微位移调节单元；所述微位移调节单元用以控制第一光学微反射镜或/和第二光学微反射镜的水平方向或/和垂直方向的微位移运动，实现MZI分束比和干涉臂相位调谐，动态控制输入WDM光信号的光谱斜率。