防止晶圆重叠的清洗槽出货机构及其出货方法

摘要

本发明公开一种防止晶圆重叠的清洗槽出货机构，该出货机构包含晶圆支架，套设在该晶圆支架外的箱体；箱体上设有相对设置的传感接收器和传感发射器，传感接收器和传感发射器设置于晶圆支架的两侧，传感发射器实时向传感接收器发送传感信号，传感接收器将传感信号传输至传输手臂控制电路；当晶圆支架上无晶圆，传感接收器接收传感信号并传输至传输手臂控制电路，传输手臂控制电路判断出货机构中没有晶圆；当晶圆支架上有晶圆，晶圆阻断传感发射器向传感接收器发送的传感信号，传输手臂控制电路判断出货机构中放置有晶圆。本发明采用传感器探测出货机构中晶圆的存放情况，避免在出货机构中同时被存放有多批次晶圆，而导致晶圆摩擦而报废的问题。

主权项

一种防止晶圆重叠的清洗槽出货机构，该出货机构包含晶圆支架（2），套设在该晶圆支架（2）外的箱体（1），该出货机构通信连接有出货机构控制器； 其特征在于，所述的箱体（1）上安装有相对设置的传感接收器（3）和传感发射器（4），该传感接收器（3）和传感发射器（4）分别设置于晶圆支架（2）的两侧，传感发射器（4）实时向传感接收器（3）发送传感信号，传感接收器（3）将传感信号传输至外接的主机构控制器；当晶圆支架（2）上未放置晶圆（5），传感接收器（3）接收到传感信号并将该传感信号传输至主机构控制器，主机构控制器判断出货机构中没有晶圆（5）；当晶圆支架（2）上放置有晶圆（5），晶圆（5）即阻断传感发射器（4）向传感接收器（3）发送的传感信号，主机构控制器未接收到该传感信号并判断出货机构中放置有晶圆（5）。