太阳能硅片线切割导辊专用镀膜机和电镀机

摘要

本发明涉及一种太阳能硅片线切割导辊及制作方法与专用镀膜机和电镀机，制作一种复合聚氨酯制成的V型导辊基体，在V型导辊基体表面上镀有金属复合层，在金属复合层表面镀有耐磨复合层，所述的金属复合层为镍、钛、铜和铬中的一种或多种组成的金属复合层，所述的耐磨复合层为防粘聚合体，防粘聚合体中有耐磨微粒。本发明制成的V型导辊在不改变现有切割工艺条件下，提高V型导辊的使用寿命和减少更换次数、稳定切片良率及提高设备利用率、降低切割综合成本。

主权项

一种太阳能硅片线切割导辊的专用镀膜机，用于复合聚氨酯制成的V型导辊基体（1）表面金属化，其特征是：包括真空室（2）以及抽真空机组（3），真空室（2）内设有一对安装V型导辊基体（1）的导辊自公转机架（4），导辊自公转机架（4）上对应设置至少一组安装V型导辊基体（1）的夹具（41），真空室（2）内安装有至少一个磁控靶位（21）以及与磁控靶位（21）对应设置的金属靶位（22），真空室（2）外设有控制磁控靶位（21）工作的磁控电源柜（23）。