| 发明名称 | 在加速/减速系统中降低电应力的技术 | ||
| 摘要 | 一种在加速/减速系统中降低电应力的技术。在一实施例中，此技术被理解为加速/减速系统。加速/减速系统可以包括加速柱，包括多个电极，具有带电荷粒子束可穿过的孔洞。加速/减速系统也可以包括多个电压分级元件，分别电性耦接至多个电极。加速/减速系统还包括多个绝缘导体，配置于邻近多个电压分级元件，以降低多个电压分级元件周围的电场。 | ||
| 申请公布号 | CN102217043B | 申请公布日期 | 2014.06.25 |
| 申请号 | CN200880125435.1 | 申请日期 | 2008.12.10 |
| 申请人 | 瓦里安半导体设备公司 | 发明人 | 卡森·泰克雷特萨迪克;罗素·J·洛 |
| 分类号 | H01L21/3065(2006.01)I;H01L21/265(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/3065(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人 | 臧建明 |
| 主权项 | 一种加速/减速系统，包括：加速柱，包括多个电极，具有带电荷粒子束可穿过的孔洞；多个电压分级元件，分别电性耦接至所述多个电极；以及多个绝缘导体，所述绝缘导体经由杆耦接至所述电压分级元件而使得所述绝缘导体配置于与所述电压分级元件的外部部分间隔预定距离，以降低所述电压分级元件周围的电场，所述绝缘导体包括配置于导体周围的绝缘体。 | ||
| 地址 | 美国麻萨诸塞州 | ||