过氟化物的分解处理方法以及处理装置

摘要

本发明的课题在于提供如下过氟化物的处理方法以及过氟化物处理装置：其能够能效良好地防止热交换器的配管的腐蚀，除此之外，能够削减废水量，效率良好地回收高纯度的氟化钙。进而，提供设备以及设置场所小、效率良好的过氟化物处理装置。本发明将包含过氟化物的废气和水或水蒸气向热交换器（2）供给，通过与高温的分解气体热交换来预热，并进一步加热，利用催化剂（12）分解。在将包含氟化氢气体的分解气体用热交换器（2）冷却后，在酸性气体除去装置（31）内使氟化氢气体与钙盐反应，能够得到高纯度的氟化钙。基于来自酸性气体除去装置的排气中的氟化钙浓度或者该装置内的钙盐的温度，控制钙盐的供给以及排出。

主权项

一种过氟化物的处理方法，其特征在于，包括：（1）对包含过氟化物的废气、以及水或水蒸气进行预热的工序；（2）对在所述工序（1）中预热了的废气、以及水或水蒸气进一步加热的工序；（3）通过利用催化剂分解在所述工序（2）中被加热了的废气所包含的过氟化物，来产生包含酸性气体的分解气体的工序；（4）通过与所述工序（1）的废气、以及水或水蒸气热交换来冷却在所述工序（3）中产生的分解气体的工序；和（5）通过与钙盐接触来除去在所述工序（4）中冷却了的分解气体所包含的酸性气体的工序，所述工序（1）包括通过与在所述工序（3）中产生的分解气体的热交换来进行的预热。