真空阀

摘要

本发明涉及真空阀，它包括具有被阀座（4）包围的阀孔（2）的壁体（1）、至少一个设置在真空阀真空范围里面的阀片（5），它可以从打开位置调整到纵向（6）上的中间位置并且从其中间位置调整到垂直于纵向（6）的横向（7）上的关闭位置，还包括至少一个支承阀片（5）的阀杆（12），它从真空阀的真空范围引出来并且可以相对于壁体（1）在平行于阀杆（12）纵轴线（14）的纵向（6）上以及横向（7）上移动，还包括设置在真空阀的真空范围以外的纵向和横向驱动装置（15,15’，16,16’），由它们使阀杆（12）为了使阀片（5）在纵向（6）和横向（7）上调整可以移动。存在一个位于真空阀的真空范围以外的、刚性地与壁体（1）连接的支承单元（17,17’），由它在横向（7）上可移动地导引一个使阀杆（12）在纵向（6）上可移动导引的导向单元（20,20’）。

主权项

一个真空阀，它包括具有被阀座（4）包围的阀孔（2）的壁体（1）、至少一个设置在真空阀真空范围里面的阀片（5），它可以从打开位置调整到纵向（6）上的中间位置并且从其中间位置调整到垂直于纵向（6）的横向（7）上的关闭位置，在打开位置阀片释放阀孔（2），在中间位置阀片覆盖阀孔（2），但是从阀座（4）上抬起，在关闭位置阀片顶压在阀座（4）上并且关闭阀孔（2），还包括至少一个支承阀片（5）的阀杆（12），它从真空阀的真空范围引出来并且可以相对于壁体（1）在平行于阀杆（12）纵轴线（14）的纵向（6）上移动以及相对于壁体在横向（7）上平行移动，还包括设置在真空阀的真空范围以外的纵向驱动装置（15,15’），由它使阀杆（12）为了使阀片（5）在其打开位置与其中间位置之间的调整可以在纵向（6）上移动，并且还包括一个设置在真空阀的真空范围以外的横向驱动装置（16,16’），由它使阀杆（12）为了使阀片（5）在其中间位置与其关闭位置之间的调整可以在横向（7）上移动，其特征在于，存在一个位于真空阀的真空范围以外的、刚性地与壁体（1）连接的支承单元（17,17’），由它在横向（7）上可移动地导引一个使阀杆（12）在纵向（6）上可移动导引的导向单元（20,20’），在阀片（5）的关闭位置，阀杆（12）的分段支承在横止挡（38）上，该分段在背离阀片（5）的一侧上从导向单元（20,20’）突出来。