微机械对准的光学组合件

摘要

一种光学组合件包含激光源的组合，所述激光源将辐射经透镜组合聚焦发射到光学波导中。所述光学波导和所述激光源永久附接到共用载体，而所述透镜中的至少一者附接到是所述载体的一体部分但最初能够自由移动的固持件。使用微机械技术来调整所述透镜和固持件的位置，且接着使用具有焊料的集成加热器将所述固持件永久地固定到适当位置中。

主权项

一种经微机械对准的光学组合件，其包括：位于衬底上的第一波导；位于所述衬底上的第二波导；用于将所述第一波导的光聚焦到所述第二波导中的透镜；以及固持所述透镜的杠杆，所述杠杆具有至少一个相对于所述衬底固定的点，所述杠杆将所述透镜固持在一位置，使得所述杠杆的移动将产生所述透镜在至少不同于所述第一波导的光的光轴的方向上的缩小移动，所述杠杆可移动以便定位所述透镜以将所述第一波导的光聚焦到所述第二波导中，其中所述杠杆大体上沿所述第一波导的光的所述光轴延伸。