发明名称 |
一种用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法 |
摘要 |
本发明提供一种用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法,其基本过程如下:首先,在本地搭建一台Tomcat服务器,制作动态网页,存放光刻机的数据资源,客户端通过HTTP协议进行访问;在服务器上通过第二远程控制模块,与客户端通过TCP/IP协议进行连接,实现远程通信及控制。然后,在客户端上,通过嵌入式ARM母板运行Android操作系统。第一远程控制模块通过HTTP协议访问Tomcat服务器,获取光刻机相关信息、下载文档视频等;通过TCP/IP协议与服务器端建立socket连接,上传摄像头采集的图片视频信息和各传感器参数,并接收服务器端发送回来的命令;通过RS232接口与单片机控制子板通信,发送控制命令至单片机,实现对光刻机的运动控制。 |
申请公布号 |
CN103888471A |
申请公布日期 |
2014.06.25 |
申请号 |
CN201410135685.0 |
申请日期 |
2014.04.04 |
申请人 |
中国科学院光电技术研究所 |
发明人 |
陈昌龙;唐小萍;胡松;马平;王楠;刘俊伯;马驰飞;何渝 |
分类号 |
H04L29/06(2006.01)I;H04L29/08(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
H04L29/06(2006.01)I |
代理机构 |
北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 |
代理人 |
孟卜娟;卢纪 |
主权项 |
一种用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法,其特征在于:包括客户端(101)和服务器端(102),两者通过互联网TCP/IP协议(103)连接;)所述的服务器端(102)包括:Tomcat服务器(110),第二远程控制模块(112);所述的Tomcat服务器(110)监听计算机端口80(109),通过HTTP协议对外提供网页、视频资源和上传文件服务;所述的第二远程控制模块(112)监听计算机端口8080(111),通过socket与客户端建立连接,接收客户端(101)提供的信息,发送光刻机控制指令到客户端(101);所述的客户端(101)包括ARM母板(104)和单片机运动控制板(105);所述的ARM母板(104)由网络模块(106),第一远程控制模块(107),RS232接口(108)完成通信;所述的单片机运动控制板(105)由RS232接口(108)完成与ARM母板(104)的通信。 |
地址 |
610209 四川省成都市双流350信箱 |