电子衰减器用于MEMS振荡器过驱动保护中的应用

摘要

一种设备包括配置为振荡器的一部分的微机电系统(MEMS)器件。该MEMS器件包括：从MEMS的衬底悬置的质量体；第一电极，配置为基于该质量体的位移来提供第一信号；以及第二电极，配置为接收基于第一信号的第二信号。该设备包括与第一电极和第一节点耦合的放大器。该放大器配置为产生输出信号，该输出信号基于第一信号和第一增益。该设备包括衰减器，该衰减器配置为基于第二增益来衰减输出信号，并且提供衰减后的输出信号作为第二信号。

主权项

一种设备，包括：微机电系统MEMS器件，配置为振荡器的一部分，所述MEMS器件包括：从MEMS的衬底悬置的质量体；第一电极，配置为基于所述质量体的位移来提供第一信号；以及第二电极，配置为接收基于第一信号的第二信号。与第一电极和第一节点耦合的放大器，所述放大器配置为产生输出信号，所述输出信号基于第一信号和第一增益；以及衰减器，所述衰减器配置为基于第二增益来衰减所述输出信号，并且提供衰减后的输出信号作为第二信号。