具有在线清洗功能的质谱分析仪及工作方法

摘要

本发明提供了具有在线清洗功能的质谱分析仪，所述质谱分析仪包括离子阱，射频电源，所述射频电源用于在清洗状态时给所述离子阱施加恒定电压，以及在工作状态时为离子阱施加恒定电压；真空单元，所述真空单元用于在清洗状态时使所述离子阱维持在低真空状态，从而使得所述离子阱的电极在所述恒定电压、低真空状态时发生等离子放电，以及在工作状态时使所述离子阱维持在高真空状态；控制单元，所述控制单元用于选择性地使所述质谱分析仪处于清洗状态、空闲状态和工作状态。本发明具有清洗效果好、实施方便、自动化高等优点。

主权项

具有在线清洗功能的质谱分析仪，所述质谱分析仪包括离子阱或四极杆，其特征在于：所述质谱分析仪进一步包括： 射频电源，所述射频电源用于在质谱分析仪处于工作状态时为离子阱或四极杆的电极施加高频电压；在质谱分析仪处于清洗状态时给所述离子阱或四极杆的电极施加恒定电压； 真空单元，所述真空单元用于在清洗状态时使所述离子阱或四极杆维持在低真空状态，从而使得所述离子阱或四极杆的电极在所述恒定电压、低真空状态时发生等离子放电，以及在工作状态时使所述离子阱或四极杆维持在高真空状态； 控制人员设备，所述控制人员设备用于选择性地使所述质谱分析仪处于清洗状态、工作状态和空闲状态。