| 发明名称 | 预空间变换器、空间变换器、以及半导体装置检查设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种预空间变换器、空间变换器、以及半导体装置检查设备，该预空间变换器包括：基板，具有第一表面和与第一表面相对的第二表面；独立电极，布置于第一表面上；以及共用电极，布置于基板中，其中，独立电极在构造单元图案的同时重复地布置。 | ||
| 申请公布号 | CN103887264A | 申请公布日期 | 2014.06.25 |
| 申请号 | CN201310532486.9 | 申请日期 | 2013.10.30 |
| 申请人 | 三星电机株式会社 | 发明人 | 崔允赫;吴光宰;金起荣 |
| 分类号 | H01L23/488(2006.01)I;H01L23/28(2006.01)I;H01L25/065(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L23/488(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人 | 余刚;李静 |
| 主权项 | 一种预空间变换器，包括：基板，具有第一表面和第二表面，所述第二表面为与所述第一表面相对的表面；独立电极，布置于所述第一表面上，以及共用电极，布置于所述基板中，其中，所述独立电极在构造单元图案的同时重复地布置。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||