微观立体痕迹三维扫描显微镜

摘要

本实用新型公开了一种微观立体痕迹三维扫描显微镜，包括投影单元、成像单元和载物台，投影单元包括投影元件和投影臂，成像单元包括成像元件和成像臂，载物台为位置可调的三维移动平台，被测物置于载物台上；投影臂的投影光路上分光设有观察被测物上立体痕迹的第一目镜，成像臂的成像光路上分光设有观察被测物上立体痕迹的第二目镜；投影臂包括投影目镜、第一变倍体和第一辅助物镜，成像臂包括成像目镜、第二变倍体和第二辅助物镜；第一目镜与投影目镜通过第一分光棱镜藕合到第一变倍体，第二目镜与成像目镜通过第二分光棱镜藕合到第二变倍体。本实用新型具有使用方便、测量精度高的特点。

主权项

一种微观立体痕迹三维扫描显微镜，包括投影单元、成像单元和载物台，其特征在于：投影单元，包括投影元件和投影臂，成像单元，包括成像元件和成像臂，载物台，为位置可调的三维移动平台，被测物置于载物台上。