碳纳米管定向集合体的制造装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种碳纳米管定向集合体的制造装置及制造方法，该装置在表面含有催化剂的基材上使碳纳米管定向集合体生长，包括：形成单元，其实现形成工序，使催化剂的周围环境成为还原气体环境，并加热催化剂及还原气体中的至少一方；生长单元，其实现生长工序，使催化剂的周围环境成为原料气体环境，并加热催化剂及原料气体中的至少一方使碳纳米管定向集合体生长；及传送单元，其至少将基材从形成单元传送到生长单元。由此可以防止连续制造中CNT定向集合体的制造量下降及品质恶化，与此同时轻易实现装置大型化从而可提高CNT定向集合体的制造效率。

主权项

一种碳纳米管定向集合体的制造装置，其是在表面含有催化剂的基材上，使碳纳米管定向集合体生长的装置，其特征在于，包括：形成单元，其实现形成工序，使所述催化剂的周围环境成为还原气体环境，并加热所述催化剂及所述还原气体中的至少一方；生长单元，其实现生长工序，使所述催化剂的周围环境成为原料气体环境，并加热所述催化剂及所述原料气体中的至少一方使碳纳米管定向集合体生长；及传送单元，其至少将所述基材从所述形成单元传送到所述生长单元。