角分辨微纳光谱分析装置

摘要

本发明公开了一种角分辨微纳光谱分析装置，包括入射光路、反射光路和透射光路。入射光路为装置提供入射光；反射光路是由样品反射光形成的光路，用于测量样品角分辨反射傅里叶信息；透射光路是由样品透射光形成的光路，用于测量样品角分辨透射傅里叶信息。本发明通过获取样品反射和透射光谱成像信息，对样品进行表征，能够用于微纳光子晶体的测量。其中，接收端探测器通过自动化控制电机使光纤探测器能够接收样品不同反射角度的光谱信息。

主权项

一种角分辨微纳光谱分析装置，其特征在于，该装置包括入射光路、与所述入射光路的出射方向对准的样品台（7）、用于接收微纳光子晶体样品的透射光并检测透射角分辨光谱信息的透射光路、用于接收微纳光子晶体样品的反射光并检测反射角分辨光谱信息的反射光路；所述入射光路包括依次设置的光纤装置（1）、准直物镜（2）、第一光阑（3）、线性偏振片（4）、可移除凸透镜（5）、分光片（8）、第一物镜（6），所述分光片（8）的反射面面向第一物镜（6）并与光路反射方向45°设置，第一物镜（6）的出射方向对准放置和调整样品的样品台（7），分光片（8）和第一物镜（6）同时是反射光路的组成部分；所述反射光路包括第一物镜（6）、分光片（8）、沿所述分光片（8）的反射方向依次设置的第一凸透镜（9）、第二光阑（10）、第一反光镜（11）、第二凸透镜（12）、第一可移除反光镜（13）和第一光谱仪（15），以及沿所述第一可移除反光镜（13）的反射方向依次设置的第三凸透镜（16）和第一CCD成像装置（17），所述第一反光镜（11）与光路入射方向45°设置，所述第一可移除反光镜（13）的反射面与光路入射方向45°设置，所述第一物镜（6）的后焦面与第一凸透镜（9）的光程等于第一凸透镜（9）的焦距f9，第一凸透镜（9）的焦点落在第二光阑（10）上，第二光阑（10）和第二凸透镜（12）的光程等于第二凸透镜（12）的焦距f12，所述第一光谱仪（15）的光纤探测头在第一电机（14）的控制下能够垂直于入射光线轴线运动，实现接收不同角度样品的傅里叶信息；所述透射光路包括依次设置的第二物镜（18）、第四凸透镜（19）、第二反光镜（20）、第三光阑（21）、第五凸透镜（22）、第二可移除反光镜（23）、第六凸透镜（26）、第二CCD成像装置（27），以及沿所述第二可移除反光镜（23）的反射方向设置的第二光谱仪（25），所述第二反光镜（20）与光路入射方向45°设置，所述第二可移除反光镜（23）的反射面与光路入射方向45°设置，所述第二物镜（18）的后焦面与第四凸透镜（19）的光程等于第四凸透镜（19）的焦距f19，第四凸透镜（19）与第三光阑（21）的光程等于第四凸透镜（19）的焦距，第五凸透镜（22）的焦点落在第三光阑（21）上，所述第二光谱仪（25）的光纤探测头在第二电机（24）的控制下能够垂直于入射光线轴线运动，实现接收不同角度样品的傅里叶信息。