一种蓝宝石表面化学机械平整化加工方法

摘要

本发明公开了一种蓝宝石表面化学机械平整化加工方法，包括以下步骤：粘片，粗磨，细磨，粗抛，精抛。本发明所述的一种蓝宝石表面化学机械平整化加工方法，使蓝宝石在切割时表面平整度得到加强，降低了加工成本。

主权项

一种蓝宝石表面化学机械平整化加工方法，其特征在于：包括以下步骤：A．粘片  将蓝宝石片长有器件的一面用粘片设备粘在玻璃片上；B．粗磨  利用粗磨机将蓝宝石衬底的厚度减薄至150μm左右，粗糙度为2.0μm左右；C．细磨  用细磨机将蓝宝石衬底的厚度减薄至90~100μm，粗糙度为0.5μm左右，厚度均匀度在2.0μm以内；D．粗抛  用粗抛机和粗抛液对蓝宝石衬底进行抛光，粗糙度0.1μm，厚度均匀度1.0μm以内；E．精抛  用精抛机和精抛液对蓝宝石衬底进行抛光，使粗糙度到20μm以下。