一种基片加热装置

摘要

一种基片加热装置，包括油箱体（12）及油箱密封盖。所述油箱体（12）为中空的圆桶形，且开口处设有外延边（11）；内部空间用于存放高温导热油。油箱密封盖外形为圆盘形。密封盖靠近边缘处设有与真空设备对接用紧固螺钉的通孔（7）；油箱密封盖的引线面设有加热器电源引线端子（3、6）、温度测量热偶引线（1、2）、进油口进油端（4）及出油口出油端（5）；所述的油箱密封盖的加热器面（8）上设有加热器（9）、两个温度测量热偶测量端口（1a、2a）、进油口出油端（4a）、出油口进油端（5a）；所述的加热器面（8）与油箱体外延边（11）直接对接，加热器面（8）上有密封刀口（14），所述的密封刀口（14）压在所述油箱体的外延边（11）上。

主权项

一种基片加热装置，其特征在于，所述的加热装置包括油箱体（12）和油箱密封盖；所述的油箱体（12）形状为中空圆桶形，所述的油箱体（12）内部空间用于存放高温导热油，开口端设有向外延伸的外延边；所述的油箱密封盖的引线面设有加热器引线端子（3、6）、温度测量热偶引线端子(1、2)、进油口进油端（4）及出油口出油端（5）；所述的油箱密封盖的加热器面（8）上设有加热器（9）、两个温度测量热偶测量端口（1a、2a）、进油口出油端（4a）、出油口进油端（5a）；所述的加热器面（8）与油箱体开口处外延边（11）直接对接，加热器面（8）上有金属密封刀口（14），所述的金属密封刀口（14）压在所述的油箱体开口处外延边（11）上；工作状态下，当油箱密封盖盖在油箱体（12）上时，加热器（9）的加热端、温度测量热偶测量端口（1a、2a）、进油口出油端（4a）及出油口进油端（5a）浸于高温导热油中。