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发明名称 Nano pattern Milling device and Milling Method using Plasma Immersion Ion
摘要
申请公布号 KR101410743(B1) 申请公布日期 2014.06.24
申请号 KR20120142435 申请日期 2012.12.10
申请人 发明人
分类号 H01J37/22;H01J37/317;H01L21/302 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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