静电夹盘

摘要

在此提供静电夹盘的实施例。在一些实施例中，一种用于支撑与保持具有给定宽度的基板的静电夹盘可包括：介电构件，具有支撑表面，该支撑表面被配置成支撑具有给定宽度的基板；电极，设置在该介电构件内位于该支撑表面下方，并且从该介电构件的中心向外延伸至超过该基板的外周边的区域，该外周边由该基板的该给定宽度所界定；RF电源，耦接该电极；以及DC电源，耦接该电极。

主权项

一种用于支撑与保持具有给定宽度的基板的静电夹盘，包含：介电构件，具有支撑表面，所述支撑表面被配置成支撑具有给定宽度的基板；电极，设置在所述介电构件内位于所述支撑表面下方，并且从所述介电构件的中心向外延伸至超过所述基板的外周边的区域，所述外周边如由所述基板的所述给定宽度所界定；RF电源，耦接所述电极；以及DC电源，耦接所述电极。