嵌入式激光位移传感器及其归一化处理方法

摘要

本发明提出一种嵌入式激光位移传感器，它由发射滤光片、发射镜组、激光器、外壳、处理电路、插座、电缆、光电器件、接收镜组、接收滤光片等部分组成，其特征在于，将所有上述系统组成部分集成在测头之中，从而实现嵌入式的测量过程。处理电路对激光器的输出光强和调制频率实行自适应控制，反馈信号则来源于光电器件的采样数据，统一采用光斑成像的波形峰值作为反馈信息，控制激光器的输出光强和调制频率，从而克服了被测目标变化带来的测量误差。处理电路将采样得到的光斑成像的位置数字信号与基准位移一一对应并得到测量曲线，然后对测量曲线采用逐次多项式拟合，从而消除测量非线性误差，使得所有的传感器都具有归一化的标准输出。

主权项

一种嵌入式激光位移传感器，它由发射滤光片、发射镜组、激光器、外壳、处理电路、插座、电缆、光电器件、接收镜组、接收滤光片等部分组成，其特征在于，本发明的激光位移传感器将所有上述系统组成部分全部集成在一个测头之中，从而实现一体化结构形式。与此同时，将数据采集、处理、校准等全部功能集成在处理电路中，传感器直接输出位移测量结果，无需上位机计算，实现即插即用，满足嵌入式测控系统需求。