发明名称 研磨液组合物
摘要
申请公布号 TWI441905 申请公布日期 2014.06.21
申请号 TW096151339 申请日期 2007.12.28
申请人 花王股份有限公司 日本 发明人 代田真美;米田康洋
分类号 C09K3/14;H01L21/304;B24B37/11 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 日本