发明名称 电浆处理装置及电浆处理方法
摘要
申请公布号 TWI442468 申请公布日期 2014.06.21
申请号 TW098105258 申请日期 2009.02.19
申请人 日立全球先端科技股份有限公司 日本 发明人 角屋诚浩;田中基裕;广田侯然
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本