发明名称 决定将形貌变化影响模型化之光学微影制程模型之方法及设备
摘要
申请公布号 TWI442254 申请公布日期 2014.06.21
申请号 TW098126261 申请日期 2009.08.04
申请人 希诺皮斯股份有限公司 美国 发明人 黄振声;梅尔文 劳伦斯三世
分类号 G06F17/50;H01L21/027 主分类号 G06F17/50
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 美国