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发明名称 检查装置
摘要
申请公布号 TWI442495 申请公布日期 2014.06.21
申请号 TW097139352 申请日期 2008.10.14
申请人 东京威力科创股份有限公司 日本 发明人 山本保人;赤池由多加;黑田真哉
分类号 H01L21/66;G01R31/28;G01R31/26;H01L21/683 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本
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