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经营范围
发明名称
PECVD进气结构
摘要
申请公布号
TWM480758
申请公布日期
2014.06.21
申请号
TW102223962
申请日期
2013.12.19
申请人
深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 中国
发明人
刘正志
分类号
H01L21/203
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
杨长峯 新北市中和区中正路928号5楼;李国光 新北市中和区中正路928号5楼;张仲谦 新北市中和区中正路928号5楼
主权项
地址
中国
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