发明名称 磁控溅镀用靶及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI441936 申请公布日期 2014.06.21
申请号 TW100127745 申请日期 2011.08.04
申请人 田中贵金属工业股份有限公司 日本 发明人 宫下敬史;后藤康之
分类号 C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本