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经营范围
发明名称
磁控溅镀用靶及其制造方法
摘要
申请公布号
TWI441936
申请公布日期
2014.06.21
申请号
TW100127745
申请日期
2011.08.04
申请人
田中贵金属工业股份有限公司 日本
发明人
宫下敬史;后藤康之
分类号
C23C14/35
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址
日本
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