| 发明名称 |
研磨头及研磨装置 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI441711 |
申请公布日期 |
2014.06.21 |
| 申请号 |
TW098128540 |
申请日期 |
2009.08.25 |
| 申请人 |
信越半导体股份有限公司 日本;不二越机械工业股份有限公司 日本 |
发明人 |
桝村寿;桥本浩昌;森田幸治;岸田敬实;荒川悟 |
| 分类号 |
B24B37/30;B24B37/005;H01L21/304 |
主分类号 |
B24B37/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
