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经营范围
发明名称
基板分割系统
摘要
申请公布号
TWI442514
申请公布日期
2014.06.21
申请号
TW098125820
申请日期
2003.10.15
申请人
三星钻石工业股份有限公司 日本
发明人
西尾仁孝;冈岛康智;大岛幸雄;大成弘行;吉本和宏
分类号
H01L21/77
主分类号
H01L21/77
代理机构
代理人
桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项
地址
日本
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