发明名称 矽基板及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI442478 申请公布日期 2014.06.21
申请号 TW098106830 申请日期 2009.03.03
申请人 胜高股份有限公司 日本 发明人 栗田一成;表秀一
分类号 H01L21/322;H01L27/146;H01L29/12 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本