发明名称 研磨装置
摘要
申请公布号 TWI441710 申请公布日期 2014.06.21
申请号 TW098104433 申请日期 2009.02.12
申请人 荏原制作所股份有限公司 日本 发明人 福岛诚;户川哲二;安田穗积;斋藤康二;锅谷治;井上智视
分类号 B24B37/27;B24B47/06;H01L21/302 主分类号 B24B37/27
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼
主权项
地址 日本