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发明名称 半导体基板及其制造方法、以及半导体装置的制造方法
摘要
申请公布号 TWI442519 申请公布日期 2014.06.21
申请号 TW097141352 申请日期 2008.10.28
申请人 半导体能源研究所股份有限公司 日本 发明人 古山将树;井坂史人;下村明久;桃纯平
分类号 H01L21/84;H01L21/324 主分类号 H01L21/84
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本
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