发明名称 曝光装置
摘要
申请公布号 TWI442193 申请公布日期 2014.06.21
申请号 TW098130554 申请日期 2009.09.10
申请人 牛尾电机股份有限公司 日本 发明人 佐藤善彦;井上丰治
分类号 G03F9/00;G03F7/20 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本