发明名称 半导体装置之制造方法
摘要
申请公布号 TWI442485 申请公布日期 2014.06.21
申请号 TW100130014 申请日期 2011.08.22
申请人 东芝股份有限公司 日本 发明人 佐藤隆夫;三浦正幸;加本拓
分类号 H01L21/56;H01L21/768 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 日本