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经营范围
发明名称
半导体装置之制造方法
摘要
申请公布号
TWI442485
申请公布日期
2014.06.21
申请号
TW100130014
申请日期
2011.08.22
申请人
东芝股份有限公司 日本
发明人
佐藤隆夫;三浦正幸;加本拓
分类号
H01L21/56;H01L21/768
主分类号
H01L21/56
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
日本
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