发明名称 垂直式单电晶体无电容式动态随机存取记忆单元及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI442517 申请公布日期 2014.06.21
申请号 TW100115020 申请日期 2011.04.29
申请人 国立中山大学 高雄市西子湾莲海路70号 发明人 林吉聪;陈钲欣
分类号 H01L21/8239;H01L27/108 主分类号 H01L21/8239
代理机构 代理人 蔡东贤 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 高雄市西子湾莲海路70号