发明名称 感光性组成物与光阻
摘要
申请公布号 TWI442181 申请公布日期 2014.06.21
申请号 TW099141978 申请日期 2010.12.02
申请人 财团法人工业技术研究院 新竹县竹东镇中兴路4段195号 发明人 林显光;郑昭德;陈素梅;张德宜;周宗毅
分类号 G03F7/032;G03F7/038 主分类号 G03F7/032
代理机构 代理人 祁明辉 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2;林素华 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2;涂绮玲 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2
主权项
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号
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